环形抛光中频误差的计算模拟

• 作者: 刘义彬 张云帆 游云峰 谢磊 鄢定尧 马平
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 环形抛光 中频误差 模拟 转速比 槽形
• 年，卷（期）: 2013,（12）
• 所属期刊栏目: 光学元件
• 页码范围: 3307-3310
• 页数: 4页
• 分类号: TG701
• 字数: 3107字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/HPLPB20132512.3307

摘要

通过建立环形抛光的去除模型,从理论上分析了转速比、槽形、元件摆动对于抛光结果的影响,并分析了中频误差产生的原因.模拟结果表明:转速比的差异会产生较大的低频误差,而中频误差会随着低频误差的降低而降低;槽形是中频误差的主要来源,复杂的非对称不规律槽形使抛光路径复杂化,降低中频误差;同时元件的小幅度摆动能够使抛光更加均匀,减小定心式抛光造成的元件表面规则状纹路结构,从而有效减小元件的中频误差.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	鄢定尧		10	56	4.0	7.0
2	刘义彬		5	34	3.0	5.0
3	马平		54	355	11.0	15.0
4	谢磊		4	17	2.0	4.0
5	张云帆		1	1	1.0	1.0
6	游云峰		2	14	1.0	2.0