数控超光滑加工高次回转对称非球面镜

• 作者: 刘健 张玲花 王君林 王绍治
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 光学制造 超光滑表面 磨头控制算法 非球面
• 年，卷（期）: 2013,（8）
• 所属期刊栏目: 光学设计与制造
• 页码范围: 248-254
• 页数: 7页
• 分类号: TH161
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201340.0816001

摘要

为了实现高次回转对称非球面的全口径超光滑加工,对磨头的运动控制算法进行了研究.介绍了超光滑加工的基本原理以及相应数控机床的机构,并对其光学表面的创成方式进行了描述.为了精确控制磨头的运动轨迹,提出了非球面驻留点的等误差递推求解算法进而分析了轨迹误差.计算了磨头位于不同位置时去除率的分布情况,并建立了驻留时间数学求解模型.在自研设备上对口径为150 mm,非球面度为116 μm的样件进行了超光滑加工.表面粗糙度方均根值由1.523±0.045 nm降低至0.399±0.0238 nm且分布均匀.实验结果表明,利用该算法可以精确控制磨头的运动轨迹,从而保证表面粗糙度的均匀一致.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘健	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	117	2097	25.0	41.0
2	王君林	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	17	59	4.0	7.0
3	王绍治	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	9	20	3.0	3.0
4	张玲花	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	7	15	3.0	3.0