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点衍射干涉仪系统误差标定算法研究
点衍射干涉仪系统误差标定算法研究
作者:
李兵
蒋庄德
高芬
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
点衍射
面形误差
衍射波面
旋转对称
旋转非对称
摘要:
为评估面形检测点衍射干涉仪的检测精度,提出用被检镜倾斜旋转法标定点衍射干涉仪的系统误差,研究可同时分离出被检球面镜旋转对称及旋转非对称面形误差的标定算法.将被检球面镜绕初始光轴及相对成小角度的倾斜光轴作两次平分角度旋转检测,利用单次平分旋转检测数据估计出被检镜面形的旋转非对称部分,利用两次旋转检测重叠区域各点系统误差不变性构建旋转对称部分的差值方程,运用最小二乘法求解用泽尼克多项式表述的旋转对称部分的系数,估计出的被检镜面形的旋转对称部分,两者相加估计得被检镜的真实面形.从干涉仪测试数据中减去被检镜的真实面形数据计算得系统误差.分析标定原理,推导标定算法公式,并仿真验证算法正确性.仿真研究结果表明,经算法估计的被检镜面形和系统误差与仿真输入值吻合,方均根误差的差值均小于0.03 nm,残差的方均根值均小于0.3 nm,满足亚纳米级标定精度需求.
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文献信息
篇名
点衍射干涉仪系统误差标定算法研究
来源期刊
机械工程学报
学科
工学
关键词
点衍射
面形误差
衍射波面
旋转对称
旋转非对称
年,卷(期)
2013,(16)
所属期刊栏目
仪器科学与技术
研究方向
页码范围
48-56
页数
9页
分类号
TH774
字数
5756字
语种
中文
DOI
10.3901/JME.2013.16.048
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
蒋庄德
西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室
165
1512
18.0
28.0
5
李兵
西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室
84
1641
20.0
38.0
9
高芬
西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室
6
28
4.0
5.0
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面形误差
衍射波面
旋转对称
旋转非对称
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
机械工程学报
主办单位:
中国机械工程学会
出版周期:
半月刊
ISSN:
0577-6686
CN:
11-2187/TH
开本:
大16开
出版地:
北京百万庄大街22号
邮发代号:
2-362
创刊时间:
1953
语种:
chi
出版文献量(篇)
12176
总下载数(次)
57
总被引数(次)
241354
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:
the National Natural Science Foundation of China
官方网址:
http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:
青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:
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