基于数字光栅模板的光变图像形成方法

• 作者: 周万根 苏昊 许忠保 钟毓宁
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 激光直写 数字光栅 空间光调制器 光变图像
• 年，卷（期）: 2013,（6）
• 所属期刊栏目: 科学基金
• 页码范围: 822-825
• 页数: 4页
• 分类号: TN26
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-132X.2013.06.023

摘要

研究了以数字光栅模板形成光变图像的方法,搭建了以Lcos空间光调制器为图像发生器的光刻实验平台.该方法与传统光刻技术相比有两大改进:采用数字光栅模板替代分束元件及机械旋转结构；以Lcos为图像发生器,采用面阵式的曝光得到高质量的具有位相信息的任意光斑图形.该方法的分辨率可达1000线/mm,能够制作出高质量的光变图像,如2D/3D图像以及各种精密的微刻图像和文字.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	钟毓宁		44	441	11.0	20.0
2	许忠保		29	72	5.0	6.0
3	周万根		1	0	0.0	0.0
4	苏昊		1	0	0.0	0.0