石英块体表面制备氮化硅层的研究

• 作者: 吴一 徐卓 申玉芳 邹正光 顾强 龙飞
• 来源期刊: 硅酸盐通报
• 学科: 工学
• 关键词: 氮化硅 石英块体 氧氮化硅 结合性
• 年，卷（期）: 2013,（4）
• 所属期刊栏目: 专题论文
• 页码范围: 542-546,553
• 页数: 6页
• 分类号: TB321
• 字数: 3035字
• 语种: 中文

摘要

高纯Si粉或Si3N4粉为反应原料,分别以SiO2粉、MgO粉、CaO粉,或者自制玻璃粉为粘结剂,按不同质量百分比与PVA饱和溶液混合,分层涂抹在石英块体表面.在N2气氛中,于1500℃高温氮化烧结180 min,在石英块体表面制备氮化硅层.XRD与EDS图谱的分析结果表明,以SiO2粉、MgO粉、CaO粉为粘结剂,产物层物相为氮化硅或氧氮化硅,产物层致密且有一定厚度和强度,但是产物层和石英块体的结合性差；以自制玻璃粉为粘结剂的实验结果表明:产物层主要物相为氮化硅,产物层有一定厚度和强度,而且与石英块体的结合性较好.