超精密微动台离散回路成形控制器优化

• 作者: 尹文生 张鸣 朱煜 杨开明 杨进
• 来源期刊: 机械工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: 超精密微动台 离散控制器 回路成形 鲁棒控制 遗传算法
• 年，卷（期）: 2013,（10）
• 所属期刊栏目: 交叉与前沿
• 页码范围: 178-185
• 页数: 8页
• 分类号: TP271
• 字数: 5351字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3901/JME.2013.10.178

摘要

为降低对存在模型摄动的超精密微动台的控制器的保守性,并规避常用的“连续设计—离散化”方法引入的离散化逼近误差的影响,以最优化微动台的控制性能,研究一种系统化的回路成形离散控制器优化方法.利用w变换建立的z平面与w平面之间的映射关系,将z平面的离散控制器设计转化为w平面内的连续控制器设计问题,并利用连续回路成形方法进行控制器设计.在回路成形设计准则的基础上,引入结构奇异值(μ)分析作为无保守性的鲁棒性约束,以控制带宽及干扰抑制能力为目标,建立完整的离散控制器优化框架.通过遗传算法该控制器优化问题进行参数寻优,获得对微动台最优的离散控制器.分析显示该方法有效地规避了离散化逼近误差的影响,并且在实际试验中优化的控制器有效地提高了微动台的控制性能,验证了所提出方法的有效性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨开明	清华大学精密仪器与机械学系	44	664	15.0	25.0
5	尹文生	清华大学精密仪器与机械学系	39	623	12.0	24.0
9	朱煜	清华大学精密仪器与机械学系	99	1312	17.0	33.0
13	杨进	清华大学精密仪器与机械学系	7	107	6.0	7.0