多晶硅生产中尾气SiCl4的处理探析

• 作者: 曾兴吉
• 来源期刊: 无线互联科技
• 关键词: 西门子法 多晶硅生产 SiCl4处理 建议
• 年，卷（期）: 2013,（9）
• 所属期刊栏目: 设计分析
• 页码范围: 98-99
• 页数: 2页
• 字数: 3607字
• 语种: 中文

摘要

改良西门子法生产多晶硅的过程中，尾气中除副产物SiCl4外，还有SiHCl3、HCl、H2和SiH2Cl2。若不有效处理，它们会对环境造成严重污染。本文就改良西门子法生产多晶硅的过程中产生的主要尾气SiCl4提出相应的处理方法和综合解决建议。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曾兴吉	江西渝州科技职业学院新能源工程学院	5	4	1.0	2.0