沉积温度对硬质合金表面MPCVD法制备SiC过渡层的影响

• 作者: 于盛旺 唐伟忠 宁来元 李晓静 申艳艳 贺志勇 金腾
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: SiC过渡层 金刚石涂层 沉积温度 硬质合金
• 年，卷（期）: 2014,（4）
• 页码范围: 784-789
• 页数: 6页
• 分类号: O484
• 字数: 4484字
• 语种: 中文

摘要

采用MPCVD法,以氢气和四甲基硅烷为先驱气体,YG6硬质合金刀片为基体材料,在不同沉积温度下制备了SiC涂层;并选用致密连续且附着性能优良的SiC涂层作为过渡层制备金刚石涂层.使用场发射扫描电镜、能谱仪和掠X射线衍射仪对SiC涂层和金刚石涂层的形貌和组成进行了分析,并对SiC涂层和金刚石涂层的附着力进行测试.结果表明,随着沉积温度升高,SiC涂层先由团聚在一起的β-SiC微晶相先转变为颗粒状和片状β-SiC,进而转变为团聚在一起的非晶态的SiC晶须;SiC涂层的厚度呈递增、致密度呈现先增强后减弱、表面粗糙度整体呈现先减小后增大、附着力呈先升高后降低的趋势.沉积温度为800℃时制备的片状SiC涂层与硬质合金基体有着良好的结合强度,将其作为过渡层时,能够在硬质合金表面制备出均匀、连续、致密的且附着力良好的金刚石涂层.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐伟忠	北京科技大学材料科学与工程学院	106	860	16.0	21.0
2	贺志勇	太原理工大学表面工程研究所	72	696	15.0	23.0
3	李晓静		9	25	3.0	4.0
4	于盛旺	太原理工大学表面工程研究所	27	77	5.0	7.0
5	宁来元	太原理工大学表面工程研究所	4	8	1.0	2.0
6	金腾	太原理工大学表面工程研究所	3	3	1.0	1.0
7	申艳艳	太原理工大学表面工程研究所	9	38	3.0	6.0