基于超薄钽酸锂晶片及炭黑红外吸收层的热释电探测器

• 作者: 何秀丽 李建平 贾建 赵燕 赵玲 高晓光
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 热释电 钽酸锂 炭黑红外吸收层 气体检测
• 年，卷（期）: 2014,（1）
• 所属期刊栏目: 微机电系统
• 页码范围: 44-50
• 分类号: TH744.41
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2014.01.008

摘要

基于钽酸锂(LiTaO3)的热释电探测器具有灵敏度高、热释电系数大、响应范围宽等优点而被广泛应用于非分光红外气体检测.在LiTaO3热释电探测器制备过程中,采用预置沟槽方法制备出约20μm厚的超薄LiTaO3晶片,该方法既能控制晶片厚度又能实现自动解片,简化了探测器制备工艺;采用电喷雾方法制备出炭黑红外吸收层,该方法工艺简便,制备的吸收层分布均匀,结构疏松.电喷雾时间为20 min时制备的吸收层在常用气体吸收波段(2.5～10μm)的红外吸收率达98％以上,使探测器信号幅值提高了约2.6倍.热释电探测器性能测试结果表明:单元结构探测器的黑体探测率可达1.78×108 cm·Hz1/2/W;二元补偿结构探测器信噪比为单元器件的2倍;将二元补偿结构探测器应用于非分光红外气体测试系统,进行了SO2气体检测,等噪声检测下限约为1×10-6.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李建平	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	251	4235	35.0	54.0
2	何秀丽	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	83	492	10.0	19.0
3	高晓光	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	52	248	9.0	13.0
4	贾建	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	43	151	7.0	9.0
5	赵玲	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	25	216	7.0	13.0
6	赵燕	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	13	250	5.0	13.0