用相机测量金刚石膜透光性的研究

• 作者: 罗廷礼
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 化学气相沉积 金刚石膜 透光率 测量和分级
• 年，卷（期）: 2014,（5）
• 页码范围: 17-21
• 页数: 5页
• 分类号: TQ164
• 字数: 3638字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13394/j.cnki.jgszz.2014.5.0004

摘要

为了方便测量、记录和交流金刚石膜的透光性，对用相机测定金刚石膜透光性的技术问题进行了研究。其原理是由相机的感光度、光圈、快门速度先得到一张级差为20%的25级金刚石膜透光性的速查表。测量中，得知膜的快门速度后查表，即可知膜的透光性级数和透光率。该法表征金刚石膜透光性的方式，可适用于多散点单参数膜25级平面坐标图示法和单散点多参数膜相关信息元素的多项式法。该方法快速方便、简单可靠，无需大型设备，保证了金刚石膜的完整性，解决了整片金刚石膜透光性的测量、表征和分级的问题。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	罗廷礼		9	10	2.0	3.0