基于双端固定梁与曲面电极的异面微致动器静态特性

• 作者: 鄢波 隋成华 马洪锋 魏高尧
• 来源期刊: 大气与环境光学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 大冲程驱动器 曲面电极 MEMS 微变形镜
• 年，卷（期）: 2014,（4）
• 所属期刊栏目: 光电技术
• 页码范围: 323-328
• 分类号: TN256
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-6141.2014.04.012

摘要

为提高在微变形镜应用中静电微致动器的冲程,设计并讨论了一种基于双端固定梁为上电极、曲面电极为下电极的异面微致动器.利用Rayleigh-Ritz方法,求解了致动器的静态特性.计算过程中,考虑了梁长度增大引起的抗拉应力和器件制造过程中残余应力的影响.通过研究不同的曲面电极轮廓形状对于致动器冲程的影响,得到了500 μm长的梁在300 V的驱动电压下其冲程最大能达到14.1μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	隋成华	浙江工业大学理学院	107	561	12.0	19.0
2	魏高尧	浙江工业大学理学院	26	99	6.0	9.0
3	鄢波	浙江工业大学理学院	17	31	3.0	3.0
4	马洪锋	浙江工业大学理学院	3	3	1.0	1.0