硬脂酸质子交换X切LiNbO3光波导的制备技术研究

• 作者: 刘占元 刘鹏飞 陈开鑫 陈硕
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 光波导 质子交换 硬脂酸 铌酸锂
• 年，卷（期）: 2014,（1）
• 所属期刊栏目: 材料、结构及工艺
• 页码范围: 65-68,148
• 分类号: TN256
• 语种: 中文

摘要

利用无毒、无腐蚀性的硬脂酸作为交换质子源,研究了在X切LiNbO3晶片上制作单模条形光波导的工艺技术.通过对平板光波导的交换及退火特性的研究,确定了获得单模条形光波导的工艺参数,制作并测试了条宽不等的X切Y传LiNbO3单模条形光波导.结果表明该工艺条件下制作的条宽为6μm的单模波导实现了小于1 dB/cm的传输损耗,为采用硬脂酸作为交换质子源研制X切Y传LiNbO3集成光波导器件奠定了基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈硕		8	27	4.0	4.0
2	刘占元		3	15	2.0	3.0
3	刘鹏飞	电子科技大学通信与信息工程学院	5	17	2.0	4.0
4	陈开鑫	电子科技大学通信与信息工程学院	12	27	3.0	4.0