膜电解法再生FeCl3蚀刻液的蚀刻性能研究

• 作者: 保积庆 俞恬 徐劼 沈筱芳
• 来源期刊: 中国腐蚀与防护学报
• 学科: 地球科学
• 关键词: 再生蚀刻液 膜电解 蚀刻速率
• 年，卷（期）: 2014,（2）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 195-198
• 页数: 4页
• 分类号: X781.1
• 语种: 中文

摘要

对某蚀刻厂的废蚀刻液通过膜电解工艺进行再生,并通过蚀刻性能条件实验研究了蚀刻时间、温度、蚀刻液浓度、蚀刻液游离酸含量等因素对蚀刻液(新蚀刻液、在线蚀刻液、再生蚀刻液)氧化还原电位和蚀刻速率的影响.结果表明,再生蚀刻液满足蚀刻要求,并且当蚀刻温度为50～60℃、蚀刻液浓度为再生蚀刻液浓度的90％、游离酸浓度为0.3 mol/L以上时,再生蚀刻液蚀刻速率最大.