微旋转结构法测量Al薄膜的残余应力

• 作者: 丁可柯 于映 张彤 张明 花婷婷 薄亚明
• 来源期刊: 南京邮电大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 微旋转结构 Al薄膜 残余应力
• 年，卷（期）: 2014,（1）
• 所属期刊栏目: 通信与电子
• 页码范围: 32-34,40
• 页数: 4页
• 分类号: TN606
• 字数: 1772字
• 语种: 中文

摘要

薄膜的残余应力是影响MEMS器件工作可靠性和稳定性的重要因素,微旋转结构法能够简单有效地测量薄膜的残余应力.文中采用MEMS工艺制作Al薄膜微旋转结构,根据微旋转结构法对m薄膜的残余应力进行了测量和计算.实验结果表明,溅射Al膜的残余应力为张应力,大小在80～110 GPa之间.对Al薄膜悬梁进行静电驱动,其驱动电压为31 ～34 V,与根据Al膜残余应力的测量值所计算出的驱动电压基本吻合.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张彤	东南大学电子科学与工程学院	89	363	10.0	14.0
2	张明	南京邮电大学电子科学与工程学院	12	53	4.0	6.0
3	于映	南京邮电大学电子科学与工程学院	18	40	3.0	4.0
5	丁可柯	南京邮电大学电子科学与工程学院	14	29	3.0	4.0
6	薄亚明	南京邮电大学电子科学与工程学院	16	63	3.0	7.0
7	花婷婷	南京邮电大学电子科学与工程学院	5	8	2.0	2.0