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西安交通大学学报期刊
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用广义Rayleigh波测量压电薄膜结构的初应力
用广义Rayleigh波测量压电薄膜结构的初应力
作者:
刘华
王子昆
王铁军
原文服务方:
西安交通大学学报
初应力
薄膜
压电介质
广义Rayleigh波
相速度
摘要:
通过求解考虑初应力时的耦合波动方程,研究了覆盖层为各向同性材料、基底为横观各向同性压电材料的压电层状结构中广义Rayleigh波传播时初应力和相速度的关系.结果表明,对于给定的材料参数和薄膜厚度,通过测量薄膜结构中的声表面波传播速度即可确定薄膜中的初应力,这对声表面波器件设计及薄膜结构的力学性能分析具有理论意义和实际应用价值.
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文献信息
篇名
用广义Rayleigh波测量压电薄膜结构的初应力
来源期刊
西安交通大学学报
学科
关键词
初应力
薄膜
压电介质
广义Rayleigh波
相速度
年,卷(期)
2000,(1)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
76-79
页数
4页
分类号
TQ328.3
字数
语种
中文
DOI
10.3321/j.issn:0253-987X.2000.01.018
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
刘华
45
201
8.0
13.0
2
王子昆
13
117
7.0
10.0
3
王铁军
18
453
9.0
18.0
传播情况
被引次数趋势
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版权信息
全文
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2017(1)
引证文献(1)
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研究主题发展历程
节点文献
初应力
薄膜
压电介质
广义Rayleigh波
相速度
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
西安交通大学学报
主办单位:
西安交通大学
出版周期:
月刊
ISSN:
0253-987X
CN:
61-1069/T
开本:
大16开
出版地:
邮发代号:
创刊时间:
1960-01-01
语种:
chi
出版文献量(篇)
7020
总下载数(次)
0
总被引数(次)
81310
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