探针对原子力显微镜成像的影响

• 作者: 刘晓刚 宋正勋 李丽丽 王作斌
• 来源期刊: 长春理工大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 原子力显微镜 特征尺寸 成像 针尖形状
• 年，卷（期）: 2014,（1）
• 页码范围: 72-75
• 页数: 4页
• 分类号: TP14
• 字数: 2335字
• 语种: 中文

摘要

原子力显微镜（Atomic Force Microscope，AFM）的一个重要应用就是对样品表面的微纳米级尺寸特征进行成像，但在扫描成像的过程中，由于针尖的影响作用，使得扫描所获图像是原子力探针和样品共同作用的结果，而不是样品形貌的真实描述。本文通过用具有不同形状、尺寸针尖的探针对同一样品进行成像，将所得图像进行分析、对比，模拟和实验结果表明，为获得更准确的特征尺寸成像，对有不同特征尺寸的样品，需要选择适合的探针对其实施成像。