不锈钢表面沉积DLC膜的结构和性能

• 作者: 孙丽丽 张栋 柯培玲 汪爱英 许辉 陈仁德
• 来源期刊: 材料研究学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 无机非金属材料 DLC膜 不锈钢 结合力 硬度
• 年，卷（期）: 2014,（9）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 697-702
• 页数: 6页
• 分类号: O484
• 语种: 中文

摘要

应用线性离子束复合磁控溅射技术在不锈钢和硅片基体上制备DLC膜,研究了基体偏压和过渡层的厚度和结构对DLC薄膜结构和性能的影响.结果表明,在过渡层相同偏压为-200V的条件下,薄膜中的sp3键含量更低,但是薄膜结构致密性的提高使其硬度和膜基结合力反而提高;在偏压为200 V的条件下,随着过渡层厚度及层数的增加DLC薄膜中sp3含量均降低,同时过渡层和多层薄膜的硬度减小;在偏压为100 V条件下,过渡层厚度和层数对DLC薄膜sp3的含量没有明显的影响.当过渡层厚度为1.7μm、结构为Cr/CrC时,在11Cr17不锈钢基体上可制备出厚度为4.92μm、硬度为29.4 GPa、摩擦系数小于0.1、结合力高于70N综合性能最佳的DLC薄膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙丽丽	中国科学院宁波材料技术与工程研究所	15	61	5.0	7.0
2	汪爱英	中国科学院宁波材料技术与工程研究所	33	206	9.0	13.0
3	张栋	中国科学院宁波材料技术与工程研究所	42	316	9.0	16.0
4	柯培玲	中国科学院宁波材料技术与工程研究所	22	149	7.0	11.0
5	陈仁德	中国科学院宁波材料技术与工程研究所	4	1	1.0	1.0
6	许辉	中国科学院宁波材料技术与工程研究所	4	3	1.0	1.0