铝掺杂氧化锌薄膜的光学性能及其微结构研究

• 作者: 兰椿 钟志有 顾锦华 龙路
• 来源期刊: 中南民族大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 氧化锌薄膜 掺杂 光学性能
• 年，卷（期）: 2014,（4）
• 所属期刊栏目: 物理与电子信息科学
• 页码范围: 78-84
• 页数: 7页
• 分类号: TM914
• 字数: 3971字
• 语种: 中文

摘要

以氧化铝（ Al2 O3）掺杂的氧化锌（ ZnO）陶瓷靶作为溅射靶材，采用射频磁控溅射工艺在玻璃基片上制备了具有c轴择优取向的铝掺杂氧化锌（ ZnO：Al）薄膜样品。通过可见-紫外光分光光度计和X射线衍射仪的测试表征，研究了生长温度对薄膜光学性能及其微结构的影响。实验结果表明：薄膜性能和微观结构与生长温度密切相关。随着生长温度的升高，样品的可见光平均透过率、（002）择优取向程度和晶粒尺寸均呈非单调变化，生长温度为640 K的样品具有最好的透光性能和晶体质量。同时薄膜样品的折射率均表现为正常色散特性，其光学能隙随生长温度升高而单调增大。与未掺杂ZnO块材的能隙相比，所有ZnO：Al薄膜样品的直接光学能隙均变宽。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	钟志有	中南民族大学电子信息工程学院	67	360	11.0	14.0
2	顾锦华	中南民族大学实验教学中心光学实验室	33	183	9.0	12.0
3	龙路	中南民族大学电子信息工程学院	11	55	4.0	7.0
4	兰椿	中南民族大学电子信息工程学院	6	43	4.0	6.0