衬底温度对铝掺杂氧化锌薄膜生长及其微结构性能的影响

• 作者: 陈首部 韦世良
• 来源期刊: 中南民族大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化锌 薄膜 X射线衍射 微结构
• 年，卷（期）: 2015,（3）
• 所属期刊栏目: 物理与电子信息科学
• 页码范围: 72-78
• 页数: 7页
• 分类号: TM914
• 字数: 3842字
• 语种: 中文

摘要

以铝掺杂氧化锌（ ZnO：Al）陶瓷靶作为溅射材料，采用RF磁控溅射技术，在玻璃衬底上制备了ZnO：Al半导体薄膜，通过X射线衍射（ XRD）测试研究了衬底温度对ZnO：Al薄膜生长特性及其微结构性能的影响。研究表明：衬底温度对薄膜生长和微结构均具有明显的影响；随着衬底温度的升高，薄膜（002）晶面取向度和平均晶粒尺寸表现为先增大后减小的变化趋势，而半高宽、微应变和位错密度则呈现出先减小后增大的变化趋势。当衬底温度为650 K时，ZnO：Al薄膜具有最高的（002）晶面取向度、最大的晶粒尺寸、最窄的半高宽、最低的微应变、最小的位错密度，其结晶性能和微结构性能最佳。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈首部	中南民族大学电子信息工程学院	30	137	7.0	10.0
2	韦世良	中南民族大学电子信息工程学院	6	37	3.0	6.0