纳米多孔硅可控制备研究

• 作者: 卢翌 许高斌 陈兴 马渊明
• 来源期刊: 电子测量与仪器学报
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米多孔硅 电化学腐蚀法 电阻率 可控制备 表征
• 年，卷（期）: 2014,（12）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 1308-1316
• 页数: 9页
• 分类号: TN4
• 字数: 4762字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13382/j.jemi.2014.12.002

摘要

采用了自制双槽和电化学腐蚀法在不同电阻率的硅片上制备出表面平整度很好的纳米多孔硅层,利用场发射扫描电子显微镜对多孔硅的微观形貌进行了分析表征.实验表明多孔硅的孔径、孔隙率和厚度随电化学腐蚀的电流密度和腐蚀时间增加而增加,且电解液中HF(40％)和无水乙醇(99.7％)的配比很趋近时,多孔硅的孔洞分布均匀性越好.在电阻率为0.01 ～0.02 Ω·cm的P型硅片上制备的纳米多孔硅其效果相比其他电阻率的要好.