全SU8微悬臂梁的制备及其弹性系数表征

• 作者: 周雄图 张永爱 郭太良
• 来源期刊: 福州大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: SU8 微悬臂梁 AFM 弹性系数
• 年，卷（期）: 2014,（1）
• 页码范围: 70-74
• 页数: 5页
• 分类号: TH161
• 字数: 2354字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7631/issn.1000-2243.2014.01.0070

摘要

采用Omnicoat作为牺牲层,经过两步光刻和湿法释放成功制备了全SU8结构的微悬臂梁,释放的成功率超过95％.针对SU8热膨胀系数大的缺点,对SU8微悬臂梁进行不同温度退火.采用原子力显微镜(AFM)系统对SU8微悬臂梁的弹性系数进行精确表征.结果表明,随着退火温度提高,SU8微悬臂梁弹性系数增大,对于250 μm长3.5tμm厚的悬臂梁,95℃退火后,其弹性系数为0.525 N·m-1;200℃退火后,其弹性系数增大到0.745 N·m-1.所制备的微悬臂梁被成功用于表征SU8与玻璃基底之间的相互作用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭太良	福州大学物理与信息工程学院	302	1102	15.0	21.0
2	张永爱	福州大学物理与信息工程学院	57	199	8.0	11.0
3	周雄图	福州大学物理与信息工程学院	26	67	5.0	7.0