三轴高g压阻式微加速度计的设计

• 作者: 林杰 林立伟 郭航
• 来源期刊: 厦门大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 三轴 高g 压阻 微加速度计 仿真
• 年，卷（期）: 2014,（4）
• 页码范围: 496-501
• 页数: 6页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 2708字
• 语种: 中文
• DOI: 10.6043/j.issn.0438-0479.2014.04.011

摘要

提出了一种三轴高g的压阻式微加速度计的设计方法.通过理论推导和计算,分析了模型的应力和频率,得到了具有较高频率的高g微加速度计的结构参数.通过有限元软件ANSYS分析确定了在获得高输出电压条件下的电阻布置方案.在此基础上,对三轴进行了200 000 g载荷下的性能研究,结果表明所设计的微加速度计具有较高的灵敏度和线性度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭航	厦门大学萨本栋微米纳米科学技术研究院厦门大学物理与机电工程学院	34	112	6.0	8.0
2	林杰	厦门大学萨本栋微米纳米科学技术研究院厦门大学物理与机电工程学院	9	268	4.0	9.0
3	林立伟	厦门大学萨本栋微米纳米科学技术研究院厦门大学物理与机电工程学院	1	3	1.0	1.0