蓝宝石单晶的质量评价及检验方法

• 作者: 张学军 李铁 杨鑫宏
• 来源期刊: 中国材料科技与设备
• 学科: 工学
• 关键词: 蓝宝石 缺陷 检验方法
• 年，卷（期）: 2014,（4）
• 页码范围: 90-92
• 页数: 3页
• 分类号: TB321

摘要

针对目前蓝宝石单晶在半导体衬底、激光窗口等方面的广泛应用，本文主要介绍了光学级蓝宝石单晶（包括晶棒、晶片或晶块）的内部质量要求及作为LED衬底应用所需进行的质量检验。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张学军		2	0	0.0	0.0
2	杨鑫宏		2	0	0.0	0.0
3	李铁		2	0	0.0	0.0