光学质量大尺寸蓝宝石单晶工艺研究

• 作者: 李玲 王东阳 翟剑庞 贺威
• 来源期刊: 深圳大学学报（理工版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 晶体学 蓝宝石晶体 泡生法 晶体生长 LED衬底材料 晶体缺陷
• 年，卷（期）: 2015,（4）
• 所属期刊栏目: 材料科学
• 页码范围: 350-356
• 页数: 7页
• 分类号: O78
• 字数: 5808字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3724/SP.J.1249.2015.04350

摘要

分析了泡生法生长大尺寸、光学质量蓝宝石单晶工艺,探讨了影响蓝宝石晶体生长的9大因素:①温场的轴向和径向温度梯度大小对晶体生长的影响;②氧化锆层对晶体质量的影响;③原料对晶体生长的影响;④籽晶的质量和晶向对晶体生长的影响;⑤引晶对晶体中残余应力、位错和晶界的影响;⑥放肩角度对晶体的影响;⑦等径生长速度对晶体的影响;⑧收尾拉脱与否对晶体质量的影响;⑨退火时间长短对晶体的影响.通过分析各影响因素,改进生长工艺,成功生长出70 kg蓝宝石单晶.对其进行表征发现,在晶体气泡、晶体方向和应力等方面均达到发光二极管芯片衬底要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李玲	深圳大学光电工程学院	16	26	4.0	4.0
2	贺威	深圳大学电子科学与技术学院	23	56	4.0	6.0
3	翟剑庞	深圳大学光电工程学院	5	2	1.0	1.0
4	王东阳	深圳大学电子科学与技术学院	1	2	1.0	1.0