AlN／蓝宝石模板上生长的 Al 0．6Ga0．4N薄膜结构与光学性能研究

• 作者: 刘宁炀 张娜 张康 张志清 王君君 范广涵 赵维 陈志涛
• 来源期刊: 材料研究与应用
• 关键词: 相分离 AlN/蓝宝石模板 Al0.6Ga0.4N
• 年，卷（期）: 2014,（3）
• 页码范围: 169-172
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.2
• 语种: 中文

摘要

采用MOCVD方法在 AlN/蓝宝石模板上生长高铝组分 Al0．6 Ga0．4 N 薄膜，并采用高分辨率XRD（HRXRD）及阴极荧光（CL）方法对其进行了表征．结果表明，AlGaN薄膜产生了相分离，其原因为厚膜中的应力弛豫及Al原子低的表面迁移率．