化学气相沉积法制备高纯钛工艺研究

• 作者: 唐晓宁 李名新 李纪伟 王睿 陈肖虎
• 来源期刊: 轻金属
• 学科: 工学
• 关键词: 电子级高纯钛 单因素实验 热力学 动力学
• 年，卷（期）: 2014,（7）
• 所属期刊栏目: 镁 钛 工业硅
• 页码范围: 43-46
• 页数: 4页
• 分类号: TF823
• 语种: 中文

摘要

介绍了卤化物热裂解法制备电子级高纯钛的工艺过程.采用单因素实验,研究了反应过程中反应时间、TiI2蒸汽压、卤化区温度以及裂解区温度的影响.同时,结合热力学及动力学分析得到适宜的工艺条件为:反应时间25小时;TiI2蒸汽压3 ～3.5kPa;卤化区温度550～800℃;沉积区温度为1100～1200℃.在此条件下进行检验性实验,单次高纯钛产量超过3kg.产品经电镜扫描(SEM)观察,晶体横截面断口形貌整齐、规整,结晶情况良好.经电子柬炉熔炼后的产品经辉光质谱(GDMS)检测,高纯钛中28种杂质元素总和小于2×10-3％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈肖虎		61	218	9.0	12.0
2	唐晓宁		19	85	4.0	9.0
3	王睿		21	38	4.0	5.0
4	李纪伟		10	12	2.0	3.0
5	李名新		5	0	0.0	0.0