基于AD630的阻抗在线监测系统设计

• 作者: 丁毅 崔洁 纪青松
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 交流阻抗法 锁相放大器 引线键合
• 年，卷（期）: 2014,（12）
• 所属期刊栏目: 先进封装技术与设备
• 页码范围: 18-22
• 页数: 5页
• 分类号: TN405.96
• 字数: 1689字
• 语种: 中文

摘要

为了测量引线键合过程中芯片阻抗的变化,采用了DSP控制的阻抗测量方法,即用直接数字频率合成器(DDS)产生同步的正交信号源,用相关法器件AD630对阻抗数据进行处理,AD采样后将结果送入DSP中,通过上位机显示并在线监测.通过实际应用验证,该方法提高了测量精度.该系统有重要的推广价值,可应用到有类似需求的设备中.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	丁毅	中国电子科技集团公司第四十五研究所	15	46	4.0	6.0
2	崔洁	中国电子科技集团公司第四十五研究所	9	85	3.0	9.0
3	纪青松	中国电子科技集团公司第四十五研究所	3	0	0.0	0.0