基于压电陶瓷光电相移驱动的大行程纳米定位系统

• 作者: 孙坚 王桂荣 许素安 谢敏 陈乐
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米定位系统 外差干涉仪 压电陶瓷执行器 高频相移电路 宏、微二级运动
• 年，卷（期）: 2014,（10）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 2773-2778
• 页数: 6页
• 分类号: TN384|TP273
• 字数: 2328字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20142210.2773

摘要

由于压电陶瓷驱动器作纳米定位控制系统驱动元件会导致定位过程中出现超调及振荡现象,故提出了一种新的基于外差干涉仪和自制高频相移电路的光电相移压电陶瓷驱动方法.实验论证了在严格控制的实验环境下,压电陶瓷能实现自主位置锁定并以纳米量级步距值被逐步推进.步距值可控的压电陶瓷驱动器与商用宏动平台结合,可实现纳米精度重复性的大行程定位系统.实验结果表明,对于5 mm往返行程的位移,在靠近目标处执行理论值为5nm步距值的步进位移时,系统的定位重复性精度小于1 nm.该定位方法规避了压电陶瓷的机械非线性误差,具有系统架构简单,定位速度快等优点,可应用于当前纳米科技和超精密加工等领域.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈乐	中国计量学院机电工程学院	61	357	11.0	15.0
2	孙坚	中国计量学院机电工程学院	57	278	10.0	13.0
3	王桂荣	中国计量学院机电工程学院	46	147	7.0	9.0
4	谢敏	中国计量学院机电工程学院	17	70	6.0	7.0
5	许素安	中国计量学院机电工程学院	23	117	8.0	10.0