玻璃基底透明导电氧化物薄膜生产技术及其应用研究

• 作者: 李伟 李向东 王晓秋 白杨 陈曦
• 来源期刊: 新技术新工艺
• 学科: 工学
• 关键词: 玻璃基底 透明导电氧化物薄膜 制备方法 工业化生产
• 年，卷（期）: 2014,（6）
• 所属期刊栏目: 材料与热处理
• 页码范围: 115-118
• 页数: 4页
• 分类号: TB43
• 字数: 4341字
• 语种: 中文

摘要

在玻璃基底上制备透明导电氧化物薄膜(简称TCO薄膜)的方法很多,本文主要论述了喷雾热分解法、真空蒸发镀膜法、磁控溅射法、化学气相沉积法以及溶胶-凝胶法,并对其在工业化应用中的优缺点进行了分析.对TCO薄膜应用进展情况、磁控溅技术和AZO薄膜的发展应用前景进行了研究和展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李向东		3	11	2.0	3.0
2	白杨		6	15	3.0	3.0
3	陈曦		1	5	1.0	1.0
4	王晓秋		1	5	1.0	1.0
5	李伟		1	5	1.0	1.0