集束型半导体装备的性能分析模型研究

• 作者: 郑秀红 马纪颖
• 来源期刊: 现代制造工程
• 学科: 工学
• 关键词: 随机Petri网 集束型 半导体 马尔可夫链 性能 模型
• 年，卷（期）: 2014,（8）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 19-25
• 页数: 7页
• 分类号: TP202
• 字数: 6229字
• 语种: 中文

摘要

由于集束型装备自身结构的复杂多变，使得对集束型装备的性能分析和产能预测变得非常困难。建立集束型装备性能分析模型是预测装备产能和辅助装备设计的有效方式之一。以可扩展的模块化方式，建立了装备的随机Petri网模型，模型中引入随机变迁来描述装备活动时间的随机性；基于该模型，采用马尔可夫链分析方法，研究了装备主要性能参数如吞吐量、晶圆滞留率和利用率的理论模型。研究结果为集束型半导体装备的性能分析提供了一种有效手段。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马纪颖	沈阳化工大学计算机科学与技术学院	8	11	2.0	3.0
2	郑秀红	沈阳化工大学计算机科学与技术学院	12	20	3.0	4.0