复杂单臂机器人集束型装备调度模型

• 作者: 李林瑛 胡静涛
• 来源期刊: 信息与控制
• 关键词: 半导体制造 集束型装备 混合整数规划模型 并行腔 可重入腔
• 年，卷（期）: 2009,（4）
• 所属期刊栏目: 论文与报告
• 页码范围: 431-436
• 页数: 6页
• 分类号: TP241.2|TP278
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0411.2009.04.008

摘要

针对一类存在并行和可重入腔的复杂单臂机器人集束型装备的调度问题,通过对加工腔、机器人、并行和可重入腔中的各个机器人活动进行分析,推导出对应的时序约束关系,建立了问题的混合整数规划模型,从而获得最优的机器人动作序列和最小周期.调度实例表明了模型的可行性和高效性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡静涛	中国科学院沈阳自动化研究所工业信息学重点实验室	71	928	17.0	28.0
2	李林瑛	中国科学院沈阳自动化研究所工业信息学重点实验室	3	25	3.0	3.0