短脉冲激光打靶用溅射防护薄膜的光学性质

• 作者: 孙连来 张庆军 方瑜 杨睿戆 罗炫 蒋晓东 陈姝帆 黄传群
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 化学
• 关键词: 聚合物薄膜 短脉冲激光 溅射防护 透过率 损伤阈值
• 年，卷（期）: 2014,（3）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 143-146
• 页数: 4页
• 分类号: O634
• 字数: 2755字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/HPLPB201426.032010

摘要

针对短脉冲激光打靶用溅射防护聚合物薄膜做了初步研究.研究了氟化乙丙共聚物(FEP)、全氟烷氧基共聚物和乙烯四氟乙烯共聚物三种厚度均为25 μm的聚合物薄膜的透过率,结果表明FEP薄膜在355 nm处光透过率达93％,有望用于激光打靶的溅射防护.进一步对FEP聚合物薄膜的波前畸变、激光损伤阈值进行了研究,结果表明φ80 mm的聚合物薄膜在632.8 nm处的透射波前畸变的峰谷值(PV值)为波长的1.006倍;在采用输出波长355 nm,脉冲宽度9.3 ns的Nd:YAG激光为照射光源波长处,薄膜零损伤概率时的最高激光能量密度为10.35 J/cm2,100％损伤概率时的最低激光能量密度为11.48 J/cm2.