进动气囊抛光的驻留时间优化

• 作者: 张利鹏 李静 杨辉 鲍龙祥
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 光学玻璃 进动气囊抛光 驻留时间算法 矩阵迭代 残余误差
• 年，卷（期）: 2014,（12）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 3303-3309
• 页数: 7页
• 分类号: TQ171.68
• 字数: 3097字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20142212.3303

摘要

提出了一种新的进动气囊抛光驻留时间算法,用于实现高精度的光学玻璃零件的加工.首先,通过抛光工艺试验确定抛光去除率函数;在矩阵迭代算法的基础上,给定一个合适的驻留时间初值函数.然后,采用分层阈值去除法进行驻留时间的优化求解,并加上残余误差方差最小的判定条件,从而得到完整的驻留时间函数.该算法适用于非球面、自由曲面等光学玻璃元件的抛光加工.用MATLAB对残余面形误差进行了仿真,仿真结果表明残余误差精度PV值可以收敛到0.1μm左右.最后,对光学玻璃平面进行了抛光.实际抛光后,该玻璃表面粗糙度Ra从抛光前的0.159 μm减小到0.024 μm,面形精度PV值由抛光前的0.756 μm减小到0.158 μm.得到的结果验证了提出驻留时间算法的合理性,表明该算法可为以后进行复杂面形工件的气囊抛光研究提供理论基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨辉	北京航空精密机械研究所精密制造技术航空科技重点实验室	31	544	10.0	23.0
2	李静	北京航空精密机械研究所精密制造技术航空科技重点实验室	45	261	9.0	15.0
3	张利鹏	北京航空精密机械研究所精密制造技术航空科技重点实验室	3	19	2.0	3.0
4	鲍龙祥	北京航空精密机械研究所精密制造技术航空科技重点实验室	6	32	3.0	5.0