基于驻留时间补偿的抛光误差控制方法

• 作者: 万勇建 伍凡 施春燕 袁家虎
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 误差控制 光学表面成形 去除函数 驻留时间 中高频误差
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 97-100
• 分类号: TH703|TQ171.684
• 字数: 2597字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/HPLPB20112301.0097

摘要

针对计算机控制光学表面成形中光学表面存在中高频误差的问题,提出了一种基于驻留时间补偿的有效控制方法.分析了抛光误差的形成机理和影响因素,对系统的误差影响因素进行分类和定量描述,构建了抛光过程中磨损影响因子、浓度变化影响因子和系统影响因子.基于各影响因素的影响因子对抛光驻留时间的求解函数进行了修正,提出采用离散最小二乘法对修正的函数求解驻留时间.研究表明:这种补偿方法能提高计算机控制光学表面成形技术中加工模型的精度.减小光学表面的残余误差.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	伍凡	中国科学院光电技术研究所	79	917	19.0	25.0
2	袁家虎	中国科学院光电技术研究所	38	600	15.0	23.0
3	万勇建	中国科学院光电技术研究所	33	180	8.0	11.0
4	施春燕	中国科学院光电技术研究所	11	101	6.0	10.0