双面研磨机结构分析与盘面修整工艺的研究

• 作者: 朱海剑 陈志嵩
• 来源期刊: 机械研究与应用
• 关键词: 双面磨抛机 行星传动 结构 工艺 16B
• 年，卷（期）: 2014,（5）
• 所属期刊栏目: 应用与试验
• 页码范围: 112-113,118
• 页数: 3页
• 分类号: TH122
• 语种: 中文

摘要

介绍了蓝宝石衬底片双面研磨机的加工原理以及其行星传动结构，并对这种结构做了相应的数学分析。而且对磨盘盘面的修正原理做了简单的介绍。并给出了四种不同盘面形状的修正参数。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱海剑		2	3	1.0	1.0
2	陈志嵩		1	2	1.0	1.0