蓝宝石衬底双面研磨亚表面损伤分布研究

• 作者: 刘道标 卓志国 周海 徐晓明 臧跃 高翔
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 蓝宝石衬底 双面研磨 亚表面损伤 划痕 化学腐蚀
• 年，卷（期）: 2014,（19）
• 所属期刊栏目: 机械科学
• 页码范围: 2568-2572
• 页数: 5页
• 分类号: TG580.68
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-132X.2014.19.003

摘要

在前人对硬脆性材料亚表面损伤预测理论研究的基础上，建立了蓝宝石衬底双面研磨亚表面损伤层深度与表面划痕深度之间的理论模型(DNR)。通过对双面研磨后的衬底晶片进行 KOH 轻度化学腐蚀并结合 VK-X100/X200形状测量激光显微系统，得到了晶片表面划痕随深度的分布情况，进而得出了晶片亚表面损伤层随深度的分布情况。研究表明：亚表面损伤层随深度变化的分布规律为随着深度的增大呈递减趋势，集中分布在距离外层碎裂及划痕破坏层下方0~12.9μm 深度范围内，所占比例达96.7%左右。研究结果有利于优化双面研磨工艺参数来控制亚表面损伤层的深度。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘道标		28	102	5.0	9.0
2	高翔		85	770	15.0	22.0
4	周海		123	393	10.0	14.0
5	徐晓明		18	68	5.0	7.0
7	臧跃		5	46	4.0	5.0
13	卓志国		7	49	4.0	7.0