腐蚀法测量研磨蓝宝石亚表面损伤的实验研究

• 作者: 周超群 徐义亮 王建彬 童勇强 马睿
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 化学腐蚀法 亚表面损伤 蓝宝石 固结磨料
• 年，卷（期）: 2019,（12）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 2216-2221,2227
• 页数: 7页
• 分类号: TN305.2|O786
• 字数: 3444字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2019.12.009

摘要

化学腐蚀法是一种简单有效的蓝宝石亚表面损伤深度检测方法.利用高温熔融KOH对蓝宝石工件的化学腐蚀作用,开展W40固结磨料研磨后蓝宝石工件的化学腐蚀实验,设计耐高温陶瓷夹具固定腐蚀液中工件位置,并用称重法测算腐蚀速率和腐蚀厚度,揭示亚表面损伤的形成机理.结果表明:采用陶瓷夹具固定工件可使腐蚀面积的均匀性大大提高,平均腐蚀速率提高9.21％左右.蓝宝石工件的腐蚀速率和腐蚀厚度逐渐减小,最后趋于稳定,其亚表面损伤深度约为8.41 μm.天平称重法可有效提高腐蚀速率和腐蚀厚度的测算精度,为蓝宝石亚表面损伤的有效测量提供帮助.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王建彬	安徽工程大学机械与汽车工程学院	43	138	5.0	10.0
2	马睿	安徽工程大学机械与汽车工程学院	4	0	0.0	0.0
3	周超群		4	2	1.0	1.0
4	童勇强	安徽工程大学机械与汽车工程学院	3	0	0.0	0.0
5	徐义亮	安徽工程大学机械与汽车工程学院	3	0	0.0	0.0