LED 蓝宝石衬底研磨工艺研究

• 作者: 方伟 王志强 王沛 豁国燕
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石研磨液 蓝宝石衬底 工艺参数 去除速率 表面粗糙度
• 年，卷（期）: 2015,（2）
• 页码范围: 59-62
• 页数: 4页
• 分类号: TG74|TQ164
• 字数: 2455字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13394/j.cnki.jgszz.2015.2.0012

摘要

为改善蓝宝石加工工艺， 通过金刚石研磨液研磨LED蓝宝石衬底试验， 研究了此过程中的工艺参数(研磨盘材质、研磨压力、研磨盘转速等)对材料去除速率和表面粗糙度值Ra的影响。试验结果显示：研磨盘材质以铜质为佳， 其最优工艺参数组合为研磨压力20. 68kPa、研磨盘转速80r/min。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王志强		6	32	4.0	5.0
2	方伟		3	16	3.0	3.0
3	豁国燕		3	16	3.0	3.0
4	王沛		4	24	3.0	4.0