基于动态MANCOVA的混合制程虚拟测量算法

• 作者: 杨一力 潘天红
• 来源期刊: 控制与决策
• 学科: 工学
• 关键词: 多变量共变异数分析 卡尔曼滤波算法 混合制程 虚拟测量
• 年，卷（期）: 2014,（11）
• 所属期刊栏目: 短文
• 页码范围: 2071-2075
• 页数: 5页
• 分类号: TP273
• 语种: 中文
• DOI: 10.13195/j.kzyjc.2013.0960

摘要

在晶圆/液晶面板等批次加工过程中，产品质量的及时估计与品质管制是提高产能和降低成本的有效途径。针对“少量多样”的混合制程，利用逐步回归算法挑选该制程的关键变量，引入产品的效益因子，建立混合制程的虚拟测量模型；为克服系统扰动对模型精度的影响，以产品效益因子为状态量建立该制程的状态方程，利用Kalman滤波器递归估计模型参数得到动态的MANCOVA模型；最后通过某湿式蚀刻制程的工程应用验证了该算法的有效性。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	潘天红	江苏大学电气信息工程学院	70	723	15.0	24.0
2	杨一力	江苏大学电气信息工程学院	1	2	1.0	1.0