国内高品质电子级氢氟酸制备难点

• 作者: 郝建堂
• 来源期刊: 中国有色金属
• 年，卷（期）: 2014,（24）
• 所属期刊栏目: 论坛
• 页码范围: 58-59
• 页数: 2页
• 语种: 中文

摘要

电子级氢氟酸主要是作为清洗剂和蚀刻剂用于光伏、集成电路和玻璃减薄等行业,是这些行业的关键辅助材料之一.其还可作为分析试剂及制备高纯含氟化学品,其中,集成电路和大规模集成电路用电子级氢氟酸的量占电子级氢氟酸总销售量的70.65％,集成电路的成品率、电性能及可靠性都对电子级氢氟酸的纯度和洁净度要求较高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郝建堂		7	0	0.0	0.0