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高精度子孔径拼接中参考面误差的去除方法
高精度子孔径拼接中参考面误差的去除方法
作者:
张金春
汪凯巍
白剑
邓万涛
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
光学检测
子孔径拼接
Zernike拟合
误差补偿
摘要:
基于最小二乘拟合的传统干涉子孔径拼接方法实现了小口径干涉仪对大口径光学元件的检测,然而在子孔径测试过程中,由于干涉仪上的参考面存在面形误差,将使获得的各子孔径的面形数据偏离真实值,所以在进行高精度面形测量时,获得参考面的面形误差并将其补偿掉是非常必要的。因此,提出了一种在拼接过程中用Zernike项对子孔径间重叠区域数据进行拟合的方法来求得参考面面形。首先在传统的目标函数上加入一系列Zernike项表征待求参考面,然后按照最小二乘法对函数进行求解得到各项系数,从而得到拟合的参考面。对平面和球面分别进行了子孔径拼接实验,拟合得到的参考面面形与QED拼接干涉仪计算得到的参考面面形的PV值偏差小于5 nm,RMS值偏差小于0.2 nm,拼接后的重叠区域不匹配误差值小于10 nm。实验结果表明,在子孔径拼接过程中可以补偿参考面误差而得到更真实的拼接面形。
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文献信息
篇名
高精度子孔径拼接中参考面误差的去除方法
来源期刊
红外与激光工程
学科
工学
关键词
光学检测
子孔径拼接
Zernike拟合
误差补偿
年,卷(期)
2014,(4)
所属期刊栏目
笠先进光学笠
研究方向
页码范围
1194-1199
页数
6页
分类号
TH741
字数
3734字
语种
中文
DOI
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
白剑
浙江大学现代光学仪器国家重点实验室
70
605
15.0
21.0
2
汪凯巍
浙江大学现代光学仪器国家重点实验室
12
74
5.0
8.0
3
邓万涛
浙江大学现代光学仪器国家重点实验室
1
7
1.0
1.0
4
张金春
浙江大学现代光学仪器国家重点实验室
1
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子孔径拼接
Zernike拟合
误差补偿
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
红外与激光工程
主办单位:
天津津航技术物理研究所
中国光学工程学会
出版周期:
月刊
ISSN:
1007-2276
CN:
12-1261/TN
开本:
大16开
出版地:
天津市空港经济区中环西路58号
邮发代号:
6-133
创刊时间:
1972
语种:
chi
出版文献量(篇)
9150
总下载数(次)
41
总被引数(次)
72012
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:
the National Natural Science Foundation of China
官方网址:
http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:
青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:
数理科学
期刊文献
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