用于第一镜表面的金属玻璃薄膜研究

• 作者: 公发全 刘万发 周徐洋 文静 牟宗信 董闯 谭彦楠
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: 第一镜 金属玻璃 薄膜表面 光谱反射率
• 年，卷（期）: 2014,（10）
• 所属期刊栏目: 粒子束技术
• 页码范围: 104002-1-104002-4
• 页数: 1页
• 分类号: O756
• 字数: 2472字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11884/HPLPB201426.104002

摘要

为解决大口径非晶金属第一镜实现难题，在研究块体金属玻璃Co61.2 B26.2 Si7.8 Ta4.8材料基础上，采用金属玻璃块体材料制作拼接成溅射靶材，通过非平衡磁控溅射镀膜方法，实现了 Co61.2 B26.2 Si7.8 Ta4.8非晶金属薄膜第一镜。研究结果表明：通过成分设计及合成靶材的设计，能够实现与块体金属玻璃具有相同光学特性的非晶薄膜第一镜；通过Cr成分改进，能够进一步提高非晶金属薄膜第一镜在可见光波段的光谱反射率。