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摘要:
为解决大口径非晶金属第一镜实现难题,在研究块体金属玻璃Co61.2 B26.2 Si7.8 Ta4.8材料基础上,采用金属玻璃块体材料制作拼接成溅射靶材,通过非平衡磁控溅射镀膜方法,实现了 Co61.2 B26.2 Si7.8 Ta4.8非晶金属薄膜第一镜。研究结果表明:通过成分设计及合成靶材的设计,能够实现与块体金属玻璃具有相同光学特性的非晶薄膜第一镜;通过Cr成分改进,能够进一步提高非晶金属薄膜第一镜在可见光波段的光谱反射率。
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文献信息
篇名 用于第一镜表面的金属玻璃薄膜研究
来源期刊 强激光与粒子束 学科 物理学
关键词 第一镜 金属玻璃 薄膜表面 光谱反射率
年,卷(期) 2014,(10) 所属期刊栏目 粒子束技术
研究方向 页码范围 104002-1-104002-4
页数 1页 分类号 O756
字数 2472字 语种 中文
DOI 10.11884/HPLPB201426.104002
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研究主题发展历程
节点文献
第一镜
金属玻璃
薄膜表面
光谱反射率
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
强激光与粒子束
月刊
1001-4322
51-1311/O4
大16开
四川绵阳919-805信箱
62-76
1989
chi
出版文献量(篇)
9833
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7
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