一种硅基雪崩光电探测器的研究

• 作者: 徐佳 杨虹
• 来源期刊: 数字技术与应用
• 学科: 工学
• 关键词: 硅基雪崩光电二极管 性能参数 结构设计
• 年，卷（期）: 2014,（1）
• 所属期刊栏目: 应用研究
• 页码范围: 60-60,65
• 页数: 2页
• 分类号: TN219
• 字数: 1388字
• 语种: 中文

摘要

硅基雪崩光电探测器(Si-APD)性能参数的研究可以优化改进器件结构的设计，而结构设计直接影响雪崩光电探测器的光电特性。本文针对Si基雪崩光电探测器的性能参数和器件结构进行研究，提出了改善器件性能参数的工艺方法，最终设计了一种硅基雪崩光电探测器结构。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨虹	重庆邮电大学光电工程学院	106	285	8.0	10.0
2	徐佳	重庆邮电大学光电工程学院	2	7	1.0	2.0