基于叠栅信号的超精密定位特性研究

• 作者: 内田敬久 刘京南 张金龙 范育奇 顾智华
• 来源期刊: 南京师范大学学报（工程技术版）
• 学科: 工学
• 关键词: 叠栅信号 超精密定位 光栅倾斜 光栅常数 定位精度
• 年，卷（期）: 2015,（4）
• 所属期刊栏目: 电气与电子工程
• 页码范围: 9-13
• 页数: 5页
• 分类号: TP932
• 字数: 2746字
• 语种: 中文

摘要

介绍了一种采用叠栅信号实现超精密定位的定位方法,首先建立了衍射叠栅信号和相对位移关系的数学模型,并在MATLAB仿真软件的辅助下完成了对其定位特性的研究.探讨了光栅倾斜对定位精度的影响,倾斜角越大,定位点的偏移越大,为确保高的定位精度,光栅的倾斜角度必须控制在一定范围之内.研究发现激光束束径和莫尔信号之间存在一定关系,当激光束直径为光栅常数的11倍及以上时,激光莫尔信号几乎不受外界干扰的影响,此时能够达到更高的定位精度.同时,分析了不同光栅常数对定位精度、定位行程的影响,并进而提出了粗光栅与细光栅相结合的两段式复合定位技术,可使定位装置在较大的行程范围内实现高精度定位.实验表明,采用衍射叠栅信号的超精密定位可获得+10 nm的定位精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张金龙	南京师范大学电气与自动化工程学院	66	447	11.0	18.0
2	刘京南	东南大学自动化学院	49	580	11.0	23.0
3	范育奇	南京师范大学电气与自动化工程学院	6	13	3.0	3.0
4	顾智华	南京师范大学电气与自动化工程学院	1	1	1.0	1.0