基于莫尔信号的超精密复合定位研究

• 作者: 内田敬久 刘京南 张金龙 徐慧 郭怡倩
• 来源期刊: 南京师范大学学报(工程技术版)
• 学科: 工学
• 关键词: 衍射光栅 莫尔信号 纳米定位 复合控制
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 所属期刊栏目: 电气与自动化工程
• 页码范围: 33-38
• 分类号: TP274+.5
• 字数: 3980字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-1292.2011.01.007

摘要

应用光学理论研究了透射式激光莫尔信号的位移特性,建立了衍射莫尔信号强度与对应位移的数学模型,并通过计算机仿真对莫尔信号的位移特性进行了研究.在此基础上设计了一套基于激光莫尔信号的超精密定位系统,系统取透射的零次莫尔信号为控制信号,由微机控制实现高精度位置检测及精密自动定位.针对精密定位高精度与大行程之间的矛盾,提出了一种利用一对细光栅实现复合定位的解决方法,通过粗定位和精定位相结合的两段式复合定位,可保证在较大的信号捕捉范围内,实现高速高精度定位.由于系统仅使用一对光栅,结构简单、可靠性高.实验结果表明,基于一对衍射细光栅的复合式精密定位可在±500μm信号捕捉范围获得±10nm的定位精度,对精密加工工程领域具有重要的实用价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐慧	南京师范大学电气与自动化工程学院	39	160	4.0	12.0
2	张金龙	南京师范大学电气与自动化工程学院	66	447	11.0	18.0
3	刘京南	东南大学自动化学院	49	580	11.0	23.0
4	郭怡倩	南京师范大学电气与自动化工程学院	33	218	5.0	14.0