多层共烧氮化铝基板尺寸精度影响因素

• 作者: 夏庆水 梁秋实 王子良 陈寰贝
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 多层共烧 氮化铝 尺寸精度
• 年，卷（期）: 2015,（5）
• 所属期刊栏目: 氮化铝技术的发展
• 页码范围: 11-13
• 页数: 3页
• 分类号: TQ174
• 字数: 3469字
• 语种: 中文

摘要

尺寸精度是氮化铝多层共烧基板重要的考核指标,文章介绍了生产过程中影响氮化铝多层共烧基板尺寸精度的主要工艺因素,包括流延、层压、金属化、生切与烧结,以及如何改善控制这些工艺因素,从而获得较高尺寸精度的氮化铝多层共烧基板产品.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	夏庆水	中国电子科技集团公司第五十五研究所	8	14	2.0	3.0
2	王子良	中国电子科技集团公司第五十五研究所	10	26	3.0	5.0
3	陈寰贝	中国电子科技集团公司第五十五研究所	8	23	2.0	4.0
4	梁秋实	中国电子科技集团公司第五十五研究所	2	2	1.0	1.0