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北京化工大学学报(自然科学版)期刊
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一种微波等离子体反应器的优化设计
一种微波等离子体反应器的优化设计
作者:
牛雁军
王治强
邵晓红
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
等离子体
压缩弯波导
同轴谐振腔
电调反射器
摘要:
采用HFSS软件对点火腔和反应腔进行优化仿真,得出了最优尺寸的腔体.点火腔设计为压缩弯波导形状,在谐振情况,单位微波功率可产生高达1.35 ×104 V/m的微波场强,便于产生等离子体;反应腔设计为同轴谐振腔结构,谐振情况下S11散射系数为-54,可产生较大面积的等离子体并提高了微波能量的利用率;反应腔中的石英反应管设计为螺旋结构,可延长等离子体在反应腔中的反应时间,从而提高等离子体化学反应的转化率;通过电调反射器及环行器系统来自由调节点火腔和反应腔中微波能量的分配,实现反应器等离子体点火、加热于一体的功能.
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文献信息
篇名
一种微波等离子体反应器的优化设计
来源期刊
北京化工大学学报(自然科学版)
学科
物理学
关键词
等离子体
压缩弯波导
同轴谐振腔
电调反射器
年,卷(期)
2015,(1)
所属期刊栏目
管理与数理科学
研究方向
页码范围
118-122
页数
5页
分类号
O411.3
字数
语种
中文
DOI
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
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王治强
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研究主题发展历程
节点文献
等离子体
压缩弯波导
同轴谐振腔
电调反射器
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
北京化工大学学报(自然科学版)
主办单位:
北京化工大学
出版周期:
双月刊
ISSN:
1671-4628
CN:
11-4755/TQ
开本:
16开
出版地:
北京市北三环东路15号
邮发代号:
82-657
创刊时间:
1972
语种:
chi
出版文献量(篇)
3271
总下载数(次)
7
总被引数(次)
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