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摘要:
商品氮化铝粉料中含有高浓度的氧、碳及金属杂质,需经过高温提纯处理后才能用于物理气相法氮化铝晶体生长.与感应加热相比,钨网电阻加热可有效避免碳、氧等的二次沾污,势必具有良好的提纯效果.本文采用钨网炉对AlN原料进行高温烧结提纯处理,通过X射线能谱仪(EDS)、气体分析技术(IGA)和辉光放电质谱仪(GDMS)对烧结处理后AlN的杂质含量进行了测试分析,结果表明经钨网炉高温烧结处理后,AlN原料中杂质含量明显降低,其中的氧、碳去除效果显著.还进一步分析了杂质挥发、原料损耗随温度、时间变化的规律.
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文献信息
篇名 AlN原料的钨网炉高温提纯
来源期刊 材料科学与工程学报 学科 物理学
关键词 氮化铝 钨网炉 杂质 提纯
年,卷(期) 2015,(4) 所属期刊栏目 研究论文
研究方向 页码范围 601-604
页数 分类号 O782
字数 语种 中文
DOI 10.14136/j.cnki.issn.1673-2812.2015.04.026
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材料科学与工程学报
双月刊
1673-2812
33-1307/T
大16开
浙江杭州浙大路38号浙江大学材料系
1983
chi
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