AlN原料的钨网炉高温提纯

• 作者: 刘京明 刘彤 李百泉 杨俊 段满龙 董志远 赵有文 陶东言
• 来源期刊: 材料科学与工程学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 氮化铝 钨网炉 杂质 提纯
• 年，卷（期）: 2015,（4）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 601-604
• 分类号: O782
• 语种: 中文
• DOI: 10.14136/j.cnki.issn.1673-2812.2015.04.026

摘要

商品氮化铝粉料中含有高浓度的氧、碳及金属杂质,需经过高温提纯处理后才能用于物理气相法氮化铝晶体生长.与感应加热相比,钨网电阻加热可有效避免碳、氧等的二次沾污,势必具有良好的提纯效果.本文采用钨网炉对AlN原料进行高温烧结提纯处理,通过X射线能谱仪(EDS)、气体分析技术(IGA)和辉光放电质谱仪(GDMS)对烧结处理后AlN的杂质含量进行了测试分析,结果表明经钨网炉高温烧结处理后,AlN原料中杂质含量明显降低,其中的氧、碳去除效果显著.还进一步分析了杂质挥发、原料损耗随温度、时间变化的规律.