直拉单晶炉减薄型加热器的数值模拟与实验分析

• 作者: 耿博耘 韩焕鹏
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 减薄型加热器 数值模拟 对比性实验 经济性分析
• 年，卷（期）: 2015,（3）
• 页码范围: 26-31
• 页数: 6页
• 分类号: TF806.1
• 字数: 3857字
• 语种: 中文

摘要

在直拉单晶炉中使用一种减薄型加热器替代原加热器，改变了单晶炉的热场温度分布。通过有限元模拟分析软件对减薄型加热器进行模拟分析，模拟结果指出减薄型加热器对提升单晶拉速、降低单晶炉功耗具有促进作用。通过对比两种加热器装料量，并进行单晶生长对比实验，实验指出，减薄型加热器在引晶、等径、收尾阶段均降低了功耗，提升了拉速。最后，数据分析指出减薄型加热器的经济性比原加热器有一定提升。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韩焕鹏		28	43	4.0	5.0
2	耿博耘		7	14	2.0	3.0