余弦误差在轮廓仪角度校准中的影响

• 作者: 高瑞翔
• 来源期刊: 上海计量测试
• 关键词: 轮廓仪 轮廓样板 角度 余弦误差
• 年，卷（期）: 2015,（5）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 21-22
• 页数: 2页
• 字数: 1015字
• 语种: 中文

摘要

通过分析校准过程中余弦误差产生的原因，建立了余弦误差的数学模型，定量评估了在不同的测量夹角下，余弦误差对于校准结果的影响程度以及影响趋势。实验验证了余弦误差数学模型的可靠性。该研究对使用标准轮廓样板进行轮廓仪角度示值误差的校准具有一定的指导作用。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高瑞翔		5	13	3.0	3.0